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  精密刻蚀镀膜仪 (Gatan 682)  

制造商:美国Gatan公司

安装时间:2006.04

技术指标:
分辨率: 0.1 nm
镀膜速度: 0.01 nm/sec.
样品尺寸: ≤2 inch(5 cm)
镀膜速度: 0.01 nm/sec.

功能:
精密刻蚀
精密镀膜

负责人:刘畅

放置地点:葛庭遂楼520房间

 
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